集成等离子体光氧机的工作原理:当废气进入集成等离子体光氧机时，它经历一个等离子体化学反应过程，即电子首先从电场中获得能量，并通过激发或电离将能量传递给分子或原子，获得能量的分子或原子被激发，而一些分子被电离，从而成为活性基团；之后，这些活性基团与分子或原子碰撞，活性基团与活性基团碰撞产生稳定的产物和热量。然后，通过破坏、分解和催化氧化，一些废气被分解成和无气味的气体。c波段光用于破坏污染气体的分子链，改变物质的分子结构，将高分子污染物裂解氧化成低分子物质，如水和二氧化碳。O3强催化氧化剂能杀灭，杀灭物质，并将其转化为低分子物质。在C波段，激光刺激催化剂涂层的活性以增强催化氧化。在分解过程中，高臭氧紫外光束分解空气中的氧分子，生成游离氧，即活性氧，由于游离氧携带的正负电子不平衡，活性氧需要与氧分子结合，然后生成臭氧。紫外线+氧气→氧气-+氧气*(活性氧)氧气+氧气→臭氧(臭氧)。众所周知，臭氧对物有的氧化作用，对恶臭气体和其他刺激性气味也有的作用。O3也是一种强催化氧化剂，催化氧化废气，裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸(DNA)，然后通过臭氧进行氧化反应，从而达到除臭和杀灭的目的。
工业生产过程中产生的一些工业废气有严重的气味和异味，而且还有一些油烟。低温等离子体和光氧设备常用于处理这类工业废气。因此，由等离子体、光和氧组成的废气处理设备应运而生。这套废气处理环保设备综合采用低温等离子体和光氧设备相结合，。
等离子光氧一体机的工作原理；
废气首入等离子体模块，通过放电，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞，能量被转化为污染物分子的内能或动能，污染物分子被激发或电离形成活性基团。当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键被破坏并直接分解成简单的原子或由单个原子组成的气体分子。等离子体含有大量电子、正负离子、激发态粒子和强氧化性的后型自由基。这些活性粒子与一些废气分子碰撞，同时产生大量活性自由基，如羟基、氧自由基、氧自由基和臭氧自由基，这些自由基具有的氧化性，能够与气体分子发生化学反应，终产生的产物。生物功能体现在的功效上。其机理是血浆中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜的表面张力，从而导致细胞膜的破坏和微生物的死亡。
未分解的废气进入光氧化设备。
废气在光氧设备中主要分三步处理和净化:
1.光氧设备利用c波段的紫外光改变分子结构，切断、断裂、燃烧和裂解废气分子链。
2.C波段紫外光催化废气分子的氧化，反应产生的O3进一步氧化裂解和分化的分子或原子，使得或无机聚合物恶臭化合物的分子链在催化氧化过程中转化为低分子化合物，如CO2和H2O
3.催化剂密集分布在光氧设备内部，光氧设备使用蜂窝状金属网孔作为载体并与光源接触。二氧化钛惰性催化剂可将C波段紫外光放大光源效应的10-30倍，增加废气的氧化反应，使紫外光与废气充分反应，缩短废气与光源的接触时间，从而提高废气净化效率。该催化剂还具有净化废气的效果，类似于植物光合作用。
经过上述处理后，废气净化效率可达以上，净化除臭效果超过了GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》和GB14554-93《恶臭污染物排放标准》的二级排放标准。
光氧催化区的工作原理:被污染的气体经过破坏、分解和催化氧化，分解成、、无味的气体。C波段光用于破坏污染气体的分子链，改变物质的分子结构，将高分子污染物裂解氧化成低分子物质，如水和二氧化碳。O3强催化氧化剂能杀灭，杀灭物质，并将其转化为低分子物质。在C波段，激光刺激催化剂涂层的活性以增强催化氧化。在分解过程中，产生量和高臭氧的紫外线，分解空气中的氧分子，生成游离氧，即活性氧，由于游离氧携带的正负电子不平衡，活性氧需要与氧分子结合，生成臭氧。紫外线+氧气→氧气-+氧气*(活性氧)氧气+氧气→臭氧(臭氧)。众所周知，臭氧对物有的氧化作用，对恶臭气体和其他刺激性气味有的去除作用。O3也是一种强催化氧化剂，催化氧化废气，裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸(DNA)，然后通过臭氧进行氧化反应，达到除臭的目的。
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